全自动石墨舟清洗机
适用范围：
全自动石英舟清洗机（硼扩/磷扩/氧化工序石英舟）
全自动石英舟清洗机（LP工序石英舟）
| 清洗产品 |
石英舟类型 |
硼扩/磷扩/氧化工序石英舟 |
LP工序石英舟 |
产能
|
产量 |
≥40套舟/天 |
≥30套舟/天 |
| 槽数 |
5 |
8 |
| 机械手 |
承载重量 |
300kg |
| 花篮承载数量 |
石英舟2套 |
| 功能描述 |
机械手数量 |
1 |
| 电机控制 |
绝对值伺服控制 |
| 温度精控 |
±1℃ |
| 药水添加精度 |
±1% |
总功率
电压 |
3PH+PE+N
380V 50Hz |
70kw（MAX） |
210kw（MAX） |
| 设备稳定性 |
UPTIME |
≥99% |
| 设备外形尺寸 |
长*宽*高 |
8532*4758*3408mm |
12466*4758*3408mm |
| 电控箱尺寸 |
1200*400*2100(1组)内置 |
| 序号 |
项目 |
单位 |
数量 |
说明 |
| 硼扩/磷扩/氧化 |
LP |
| 1 |
上下料推车 |
套 |
3 |
3 |
|
| 2 |
清洗篮数量 |
套 |
5+3 |
8+3 |
|
| 3 |
机械手 |
套 |
1 |
1 |
伺服控制 |
| 4 |
框架 |
套 |
3 |
3 |
PP白色 |
| 5 |
电控箱 |
套 |
1 |
1 |
内置 |
| 6 |
内置槽体 |
个 |
5 |
碱性工位0套 |
8 |
碱性工位3 套 |
|
| 酸性工位6套 |
酸性工位1套 |
| 中性工位2套 |
中性工位3套 |
| 烘干工位1套 |
烘干工位1套 |
| 序号 |
工艺 |
备注 |
| 工序 |
辅助 |
处理液 |
温度(℃) |
时间（min） |
|
| 1 |
酸洗 |
鼓泡 |
HCL+HF+DI |
RT |
120 |
并联 |
| 2 |
酸洗 |
鼓泡 |
HCL+HF+DI |
RT |
120 |
| 3 |
水洗 |
溢流+鼓泡 |
DI |
RT |
60 |
串联 |
| 4 |
慢提拉 |
溢流+加热 |
DI |
60 |
60 |
串联 |
| 5 |
烘干 |
循环+加热 |
空气/N2 |
85 |
60 |
串联 |
| 上下料 |
| 序号 |
工艺 |
备注 |
| 工序 |
辅助 |
处理液 |
温度(℃) |
时间（min） |
|
| 1 |
Poly清洗 |
加热+循环+鼓泡 |
NaOH+DI |
RT-80 |
240 |
并联 |
| 2 |
Poly清洗 |
加热+循环+鼓泡 |
NaOH+DI |
RT-80 |
240 |
| 3 |
Poly清洗 |
加热+循环+鼓泡 |
NaOH+DI |
RT-80 |
240 |
| 4 |
水洗 |
溢流+鼓泡 |
DI |
RT |
30 |
串联 |
| 5 |
酸洗 |
鼓泡 |
HF+HCL+DI |
RT |
30 |
串联 |
| 6 |
水洗 |
溢流+鼓泡 |
DI |
RT |
60 |
串联 |
| 7 |
慢提拉 |
溢流+加热 |
DI |
60 |
60 |
串联 |
| 8 |
烘干 |
循环+加热 |
空气/N2 |
90 |
60 |
串联 |
| 上下料 |
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