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湿法刻蚀&单边去PSG清洗机
生产产品 硅片
18Xmm*18Xmm/230mm*230mm
(thickness 180±20)μm
产能
产量 ≥8000PCS/H,10道(双5道)
碎片率 ≤0.5‰
过程控制 全自动控制
进药控制 自动加药&手动加药
工作方向 左进右出(默认) 左进右出(面向操作面)
传动 滚轮
抛光滚轮
操作速度 1.5~3.5m/min
设备组成 槽体 PVDF/PP-N
滚轮材质 PVDF/PP-N
马达 伺服马达
干燥方式 热风烘干
温度保护功能
泄漏侦测功能
电力参数 总功率、电压 40kw,3PH+PE+N 380V 50Hz
设备稳定性 UPTIME
≥98%